管式炉是根据温度采用电阻丝,硅碳棒、硅钼棒等材料为加热元件,温度可以达到1800度。具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
管式炉在进行使用时,是在真空状态下进行工作的,所以抽真空是操作使用炉子时一项非常重要的步骤,如果做不好那么可能就会影响其使用效果,那么如何正确抽真空呢?
抽真空:确保管式炉进气口关闭,打开出气口,连接真空泵,将炉管压强抽至-0.09 Mpa,随后关闭出气口和真空泵。接着按气瓶主阀、分压阀(个示数0.5-1.0,第二个示数0.02)、管路开关、气体流量计的顺序打开气路,打开进气口阀门。
待管式炉炉管内压强升至正压(不超过0.02 Mpa)时,打开出气口阀门,通过进气阀门及流量计调节气体流速,一般以安全瓶中连续鼓出气泡为准。稳定后,通氮气5-20 min,把管内空气全部排空。
抽真空是管式炉使用中非常重要的一步,也是关系到其使用效果的重要条件,所以用户在使用时一定要掌握好正确的方法。
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