箱式炉在扩散炉口径变大以后，恒温区的横截面温度差卧式炉比立式大得多，真空箱式炉更能满足工艺要求；真空箱式炉为达到特殊工艺要求甚至更低，使之满足薄膜工艺要求；真空箱式炉有利于满足自动化水平，实现自动装卸片；真空箱式炉能在工艺过程中硅片在高温状态易变形,水平放置硅片变形小。

真空箱式炉可通气氛抽真空，材质是石英管，配有石英管和真空密封法兰系统，可以在流动气氛和真空状态下快速加热和淬火样品。精密的控温仪升降温，控温精度。安装在可移动支架上方便移动。

真空箱式炉具有独特的炉膛结构设计，有多个独立可控的温区，能一次性完成产品排胶、烧结保温、可控降温的全过程。温控采用数显移相电压调节；传动系统无离合机构，采用控制步进电机，运行速度平稳无噪声，下降速度无级可调。炉膛保温材料采用节能型纤维，升﹑降温度快,炉温均匀，烧结产品一致性好。